MECS CS-1000 UTX1700PTFE 晶圆机器人控制系统

【产品详情】

asst Technologies/MECS CS-1000晶圆机器人控制系统

配置:

•(2)所含电缆-用于连接UTX-1100晶圆机器人

•安装了UTC-P/UTC-S模块

•安装RS232C-1/EXT-1模块

•EXT-2模块已安装

•输入电压:仅115 VAC

多数机器人的结构是一个空间开链结构，各个关节的运动是相互独立的，为了实现机器人未端执行器的运动，需要多关节协调运动，因此，机器人控制系统与普通的控制系统比较要复杂一些。具体来讲，机器人控制系统主要具有以下特点

(1)CS-1000 UTX1700PTFE机器人控制系统是一个多变量控制系统，即使简单的工业机器人也有3~5个自由度，比较复杂的机器人有十几个自由度，甚至几十个自由度，每个自由度一般包含一个伺服机构多个独立的伺服系统必须有机地协调起来。例如，机器人的手部运动是所有关节的合成运动，要使手部按照一定的轨迹运动就必须控制各关节协调运动，包括运动轨迹、动作时序等多方面的协调。

特点:

优越的决议

高放大倍数

真正的三维成像

亚表面缺陷成像

二维表面轮廓

完全ADC就绪

该超/KLA Tencor模型1010激光成像系统是一个先进的光学共聚焦审查站。凭借其卓越的分辨率和高放大倍率，它是您当前和下一代设备缺陷审查要求的理想解决方案。

MECS CS-1000 UTX1700PTFE 晶圆机器人控制系统

【英文介绍】

asst Technologies/MECS CS-1000 Wafer Robot Control System

Settings:

(2) Included cable - for connecting UTX-1100 wafer robot

• The UTC-P/UTC-S modules are installed

• Install the RS232C-1/EXT-1 module

• The EXT-2 module has been installed

• Input voltage: 115 VAC only

The structure of most robots is a spatial open-chain structure, and the movement of each joint is independent of each other. In order to achieve the movement of the robot's end-actuator, multi-joint coordination is required. Therefore, the robot control system is more complicated than the ordinary control system. Specifically, the robot control system mainly has the following characteristics

(1)CS-1000 UTX1700PTFE robot control system is a multi-variable control system, even simple industrial robots have 3 to 5 degrees of freedom, more complex robots have a dozen degrees of freedom, or even dozens of degrees of freedom, each degree of freedom generally contains a servomechanism multiple independent servo systems must be organically coordinated. For example, the hand movement of the robot is a composite movement of all joints. To make the hand move according to a certain trajectory, it is necessary to control the coordinated movement of all joints, including the coordination of movement trajectory, action timing and other aspects.

Features:

Superior resolution

High magnification

True three-dimensional imaging

Subsurface defect imaging

Two-dimensional surface profile

Fully ADC ready

The Super /KLA Tencor Model 1010 laser imaging system is an advanced optical confocal review station. With its superior resolution and high magnification, it is the ideal solution for your current and next generation device defect review requirements.

MECS CS-1000 UTX1700PTFE 晶圆机器人控制系统

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【常见问题】

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