GHW-50A 射频等离子发生器 具有高可靠性

>>>>>型号:GHW-50A  射频等离子发生器   具有高可靠性 

【功能描述】

类型：GHW 系列 13.56 MHz 射频等离子发生器

频率：13.56兆赫 ±0.005%

功率输出GHW-12：1250 瓦

GHW-25：2500 瓦

GHW-50：5000 瓦

接口标准：RS-232 超小型 D 型 9 针数字;提供可选的定制接口卡。

读数数字读数显示频率和正向功率、反射功率和负载功率。

机架安装提供 EIA（标准）19 英寸适配器

冷却系统GHW-12：水流量为 2.0 Gal./Min. （7.6 LPM），最小值为 +5°C 至 +35°C。 提供的连接件可接受 1/4 英寸外螺纹 （NPT） 管螺纹。

GHW-25、GWH-50：水流量为 2.0 加仑/分钟（7.6 升/分钟），最小值为 +5°C 至 +35°C。 提供的连接可接受 3/8 英寸外螺纹 （NPT） 管螺纹。

尺寸GHW-12：3.5 英寸 x 19 英寸机架安装 x 20.0 英寸（89 x 483 x 508 毫米）

GHW-25：5.25 英寸 x 19 英寸机架安装 x 20.5 英寸（133 x 483 x 521 毫米）

GHW-50：8.72 英寸 x 19 英寸机架安装 x 22.1 英寸（221 x 483 x 560 毫米）。

（高 x 宽 x 深，不包括把手和连接器）

GHW-50A是一种射频电源，具体为MKS（ENI）品牌的GHW系列射频发电机。该设备在13.56 MHz的频率下提供不同额定输出功率的设备选择，具有高可靠性，非常适用于集成电路、平板显示器和数据存储设备。此外，它提供EIA（标准）19英寸适配器作为机架安装选项，并且其冷却系统的水流为7.6L/min，水温在5℃~35℃之间。

【英文介绍】

Type: GHW Series 13.56MHz RF plasma generator

Frequency: 13.56 MHZ ±0.005%

Power output GHW- 12:1250 watts

Ghw-25:2,500 watts

GHW- 50:50 00 watts

Interface standard: RS-232 ultra-small D-type 9-pin digital; Provides optional custom interface cards.

Reading Digital reading shows frequency and forward power, reflected power, and load power.

An EIA (standard) 19-inch adapter is available for rack mount

Cooling system GHW-12: Water flow of 2.0 Gal./Min. (7.6 LPM), minimum +5°C to +35°C. Connectors available accept 1/4 inch external thread (NPT) pipe threads.

GHW-25, GWH-50: Water flow is 2.0 gal/min (7.6 L/min) with minimum values of +5°C to +35°C. The connections provided accept 3/8 "external thread (NPT) pipe threads.

Dimensions GHW-12:3.5 "x 19" rack Mount x 20.0 "(89 x 483 x 508 mm)

GHW-25:5.25 "x 19" rack mount x 20.5 "(133 x 483 x 521 mm)

GHW-50:8.72 "x 19" rack mount x 22.1 "(221 x 483 x 560 mm).

(Height x width x depth, excluding handles and connectors)

Ghw-50a is a radio frequency power supply, specifically the MKS (ENI) brand GHW series radio frequency generator. Offering a selection of devices with different output power ratings at a frequency of 13.56 MHz, the device has high reliability and is ideal for integrated circuits, flat panel displays and data storage devices. In addition, it offers an EIA (standard) 19-inch adapter as a rack-mount option, and its cooling system has a water flow of 7.6L/min and a water temperature between 5 ° C and 35 ° C.

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