GHW-12 GHW50 13.56 MHz、5 kW 射频等离子发生器提供经过现场验证的可靠性、出色的稳定性和无与伦比的可重复性，可实现高正常运行时间和工艺产量。GHW 系列射频等离子发生器可在 208 VAC 和 400/480 VAC 下使用。GHW-12 GHW RF 等离子发生器非常适合等离子增强化学气相沉积 (PECVD)、高密度等离子 CVD (HDPCVD)、蚀刻和集成电路、平板显示器和数据存储设备制造过程中的其他薄膜应用。MKS Instruments 的所有射频发生器均通过 NRTL 认证和 CE 标志。
ENI GHW-12Z 类型射频等离子发生器频率13.56 兆赫 ±0.005%动态功率范围10 - 1250 瓦功率输出1.25千瓦负载阻抗范围无限射频稳定性/杂散输出在 <-45dBc 的操作限制范围内对任何负载无条件稳定谐波输出和失真<-40dBc负载失配保护在反向功率达到预编程水平 = 额定功率的 16% 后，自动正向功率限制通常为 0.25ms。
ENI GHW-12Z 射频连接器N型界面标准：RS-232 超小型 D 型 9 针数字，可选的定制接口卡可用。读出数字读数显示频率和正向、反射和负载功率。机架安装提供 EIA(标准)19 英寸适配器冷却水冷却系统水流量为 2.0 加仑/分钟。(7.6 LPM) 在 5 - 35°C 时最低。提供的连接件接受 1/4 英寸外螺纹 (NPT) 管螺纹。
